[发明专利]可调谐滤光片在审
| 申请号： | 201910943100.0 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112578494A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 刘哲;李昱;苏炎;于光龙 | 申请（专利权）人： | 福州高意光学有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了可调谐滤光片，其为多腔式干涉滤光片，其在1200 nm到1800 nm波长范围内存在透射带，其包括：基板，及在基板表面镀制的滤光膜层；所述的滤光膜层包括多个腔层和设于腔层两端面的反射膜堆，所述的反射膜堆包括交替叠加的多个高折射率层和多个低折射率层，其中，制成高折射率层的材料至少包含Si:H；所述滤光片的腔层数目大于或等于3个；所述滤光片的通带具有中心波长，当滤光片工作温度范围与20摄氏度到85摄氏度温度范围部分重叠时，其中心波长的温度漂移系数大于70 pm/摄氏度，小于300 pm/摄氏度。本发明的滤光片可以通过一次真空镀膜获得，避免了硅片抛光、分别镀两个面反射膜的繁琐过程；易于实现3腔或以上Si:H腔层，滤光片矩形度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 调谐 滤光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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