[发明专利]一种用于防止等离子气体沉积的传输单元在审
| 申请号： | 201910943425.9 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110617377A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 杨逸波 | 申请（专利权）人： | 无锡英普朗科技有限公司 |
| 主分类号： | F16L53/38 | 分类号： | F16L53/38 |
| 代理公司： | 32366 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 周子轶 |
| 地址： | 214124 江苏省无锡市经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及了气体传输技术领域，公开了一种用于防止等离子气体沉积的传输单元。包括：具有进口和出口的管体、设置在所述管体内的加热丝；所述加热丝自所述管体的进口处延伸至所述管体的出口处；所述加热丝包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体，所述第一本体为镍铬合金层，所述第二本体为不锈钢层。本发明一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，能够使等离子气体在管体内的每一处都能被持续加热，并且能够提高对等离子气体的加热速度，使等离子气体能够快速升温至较高的预设温度。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子气体 加热丝 管体 传输单元 沉积 体内 进口和出口 镍铬合金层 不锈钢层 持续加热 快速升温 气体传输 进口处 预设 加热 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，其特征在于，包括：/n具有进口和出口的管体、设置在所述管体内的加热丝；/n所述加热丝自所述管体的进口处延伸至所述管体的出口处；/n所述加热丝包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体，所述第一本体为镍铬合金层，所述第二本体为不锈钢层。/n
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