[发明专利]一种检测方法、检测设备的对准方法以及检测设备在审
| 申请号： | 201910944507.5 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112577970A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;黄有为;王天民;庞芝亮;崔高增 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 李海宝 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供了一种检测方法、检测设备的对准方法以及检测设备，该检测方法包括以下步骤：首先，对待测物进行扫描检测处理，获取待测物表面缺陷的缺陷信息；然后，根据所述缺陷信息对缺陷进行筛选处理，获取复检缺陷；然后，对所述复检缺陷进行复检处理，获取所述复检缺陷的复检信息。本申请的技术方案可有效提高对待测物的检测速度和检测准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 方法 设备 对准 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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