[发明专利]一种新型纳米多层结构复合阻氚涂层在审
| 申请号： | 201910945436.0 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110629179A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 任峰;胡璐璐;殷然;蔡光旭;蒋昌忠 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/32;G21F1/12 |
| 代理公司： | 42222 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 李明娅 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型纳米多层结构复合阻氚涂层，通过物理气相沉积方法，利用设备中的两个靶材，交替沉积两种材料实现多层膜，得到周期性交替生长的纳米多层结构复合涂层，基于纳米多层结构的特点，涂层中引入丰富的横向界面可以捕获氚，形成具有高束缚能的陷阱，提高氚在界面处的扩散势垒，降低涂层中氚的扩散浓度梯度，从而阻挡氚的扩散渗透，降低氚的渗透率，大幅提高涂层的阻氚性能。 | ||
| 搜索关键词： | 多层结构 扩散浓度梯度 物理气相沉积 周期性交替 复合涂层 横向界面 交替沉积 扩散渗透 扩散势垒 新型纳米 阻氚涂层 阻氚性能 多层膜 界面处 渗透率 靶材 捕获 陷阱 复合 阻挡 束缚 生长 引入 | ||
【主权项】：
1.一种新型纳米多层结构复合阻氚涂层，其特征在于：通过物理气相沉积方法，利用设备中的多个靶材，交替沉积两种或多种不互溶材料，界面与基体平行，周期的层厚控制在纳米量级，得到周期性交替生长的纳米多层结构复合阻氚涂层，利用纳米多层结构中的横向界面作为捕获氚的陷阱，阻挡氚的扩散渗透。/n
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