[发明专利]用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源在审
| 申请号： | 201910947887.8 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110571127A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 赵东锋;胡高明;陈旸 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源，包括信号源、功率放大器、射频共振电路、监测电路、偏置电路和负载，其中：信号源用于提供射频信号；功率放大器的用于对信号源提供的射频信号进行放大，生成驱动后续电路的高功率信号；射频共振电路，用于对功率放大器输出的高功率信号进行谐振放大，并输出给负载；监测电路用于监测经过射频共振电路谐振放大之后的信号；偏置电路用于对传输至负载的射频高压施加直流偏置电压；负载为多极杆离子阱或离子导向装置。本发明提供的射频电源，射频共振电路采用串联谐振回路，射频信号直接输入到谐振回路中，能量传输效率高，具有较高的品质因数，同时只有一条主回路，使得结构更简单。 | ||
| 搜索关键词： | 共振电路 射频 射频信号 信号源 离子导向装置 高功率信号 功率放大器 监测电路 偏置电路 射频电源 谐振放大 多极杆 离子阱 功率放大器输出 串联谐振回路 能量传输效率 驱动后续电路 直流偏置电压 品质因数 射频高压 谐振回路 主回路 放大 施加 传输 输出 监测 | ||
【主权项】：
1.一种用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源，其特征在于，该电源包括信号源(100)、功率放大器(200)、射频共振电路(300)、监测电路(400)、偏置电路(500)和负载(600)，其中：/n信号源(100)，用于提供一个幅度和频率可调的射频信号；/n功率放大器(200)，输入端与信号源(100)的输出端相连接，用于对信号源(100)提供的射频信号进行放大，生成用以驱动后续电路的高功率信号；/n射频共振电路(300)，输入端与功率放大器(200)的输出端相连接，第一输出端与负载(600)的正极性相连接，第二输出端与负载(600)的负极性相连接，用于对功率放大器(200)输出的高功率信号进行谐振放大，生成更高幅值的射频信号，并输出给负载(600)；/n监测电路(400)，第一输入端与射频共振电路(300)的第一输出端相连接，第二输入端与射频共振电路(300)的第二输出端相连接，用于监测经过射频共振电路(300)谐振放大之后的信号，可以直观的获得输送至负载(600)的射频高压信号的幅值和频率，同时也可以监测电源和负载间的容性匹配状态；/n偏置电路(500)，第一输入端与射频共振电路(300)的第一输出端相连接，第二输入端与射频共振电路(300)的第二输出端相连接，用于对传输至负载(600)的射频高压施加直流偏置电压；/n负载(600)为多极杆离子阱或离子导向装置。/n
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