[发明专利]一种用于原位扫描电镜测试的载物仪

摘要

本发明涉及样品台领域，特别涉及一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其包括舱体、第一密封圈、载物台、盖板、细绳、抽气部、密封盖、电池、控制器和电机，载物台安装在舱体内，样品装放在载物台上，盖板和抽气部可以对样品所在的空间进行真空密封，遥控器用于控制盖板的开启。本发明盖板的开启时机可控，可以确保电镜样品舱内达到真空后再对盖板进行开启，保证样品不受污染，在电镜内实现真空原位测试样品，盖板也可以在电镜样品舱任意真空度下遥控开启，使样品暴露在特定的气压环境下，以完成某些特定环境下的观测试验。

主权项

1.一种用于原位扫描电镜测试的载物仪，其特征在于：包括舱体、第一密封圈、载物台、盖板、细绳、抽气部、密封盖、电池、控制器、电机和遥控器；所述舱体呈阶梯状，包括第一阶梯、第二阶梯和第三阶梯，所述第一阶梯、第二阶梯和第三阶梯均为长方体状，所述第二阶梯的前侧面与所述第一阶梯的后侧面重合，所述第二阶梯的后侧面与所述第三阶梯的前侧面重合；所述第一阶梯的上表面往所述第一阶梯的高度方向开有轴线重合的第一圆槽和第二圆槽，所述第一圆槽直径大于所述第二圆槽直径，所述第二圆槽深度大于所述第一圆槽深度，所述第一密封圈固定安装在所述第一圆槽的底面；所述第一阶梯的前侧面有圆台，所述圆台轴线方向有通腔，所述通腔与所述第二圆槽连通，所述抽气部与所述圆台气密连接，所述抽气部可以在抽真空操作后封闭所述通腔在圆台的一端；所述载物台放置在所述第二圆槽内，所述载物台高度小于所述第二圆槽深度，所述盖板放置在所述第一密封圈上方，所述盖板与所述密封圈贴合，所述抽气部封闭后，所述盖板与所述密封圈能保证所述第一阶梯内部腔体的气密密封；所述第二阶梯的左侧面或右侧面往所述第二阶梯宽度方向开有第三圆槽，所述电池安装在所述第三圆槽内，所述第三圆槽从起始开孔面往内有第一螺纹，所述密封盖有第二螺纹，所述第一螺纹和所述第二螺纹配合，所述拧紧密封盖能够气密密封所述第三圆槽；所述第三圆槽和所述密封盖内安装有导线，所述导线将电池正负极引出第二台阶外部；所述电机固定安装在第三台阶上表面，所述电机壳外转轴上固定安装有绕线器，所述细绳两端分别连接所述盖板和所述绕线器；所述遥控器包括电池和无线信号输出模块；所述控制器包括无线信号接收模块和电机控制模块，所述电池、无线信号接收模块和电机控制模块形成并联电路，所述电机与所述控制模块连接。/n