[发明专利]一种滤波装置及其制作方法在审
| 申请号： | 201910949986.X | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN110572138A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 彭波华;李平;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人： | 开元通信技术(厦门)有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 田媛媛 |
| 地址： | 361026 福建省厦门市海沧区中国(福建)自由贸易*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种滤波装置，包括衬底层和位于衬底层上表面的谐振层，谐振层包括振动模式不同的第一谐振装置和第二谐振装置；第一谐振装置至少包括层叠的第一压电层和第一上电极层，第二谐振装置至少包括层叠的第二压电层和第二上电极层，第一谐振装置和第二谐振装置中的至少一个还包括下电极层，且第二上电极层中的叉指电极靠近第一上电极层的一侧不具有母线。滤波装置具有混合振动模式的谐振装置，避免单一声波波型滤波装置无法满足不同频带带宽的要求，同时避免单一DMS型滤波装置不适用高频的要求；且第二上电极层中的叉指电极的一侧没有母线，直接与第一上电极层相连，有效减小滤波装置的体积，降低成本。本申请还提供具有上述优点的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振装置 电极层 滤波装置 叉指电极 振动模式 衬底层 谐振层 压电层 母线 频带带宽 声波波型 下电极层 上表面 减小 申请 制作 | ||
【主权项】：
1.一种滤波装置，其特征在于，包括衬底层和位于所述衬底层上表面的谐振层，所述谐振层包括振动模式不同的第一谐振装置和第二谐振装置；/n所述第一谐振装置至少包括层叠的第一压电层和第一上电极层，所述第二谐振装置至少包括层叠的第二压电层和第二上电极层，所述第一谐振装置和所述第二谐振装置中的至少一个还包括下电极层，且所述第二上电极层中的叉指电极靠近所述第一上电极层的一侧不具有母线。/n
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