[发明专利]一种声波器件及滤波装置在审
申请号: | 201910949989.3 | 申请日: | 2019-10-08 |
公开(公告)号: | CN110572137A | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 彭波华;胡念楚;贾斌 | 申请(专利权)人: | 开元通信技术(厦门)有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/64 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 田媛媛 |
地址: | 361026 福建省厦门市海沧区中国(福建)自由贸易*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本申请公开了一种声波器件,包括由下至上依次层叠的衬底,复合层,电极层,所述复合层具有预设形状的闭合型凹槽,其中,所述复合层包括由下至上层叠的温度补偿层和压电层,所述电极层位于所述凹槽以内的所述复合层的上表面。可见,复合层具有凹槽,电极层位于凹槽以内的复合层的上表面,当声波沿着横向传播时,声波被位于凹槽外侧的压电层边缘反射回来,声波的能量被限制在电极层的下方,横向能量泄露降低,当声波沿着纵向传播时,由于衬底的声波传播速度高于复合层,声波几乎都只在复合层中传播,不会泄露到衬底中,纵向能量泄露得到抑制,Q值提升,且温度补偿层的存在可减小因温度变化导致的频率偏移。本申请还提供一种有上述优点的滤波装置。 | ||
搜索关键词: | 复合层 声波 电极层 衬底 温度补偿层 上表面 压电层 泄露 闭合型凹槽 边缘反射 横向传播 横向能量 滤波装置 能量泄露 频率偏移 声波传播 声波器件 依次层叠 预设形状 纵向传播 减小 申请 传播 | ||
【主权项】:
1.一种声波器件,其特征在于,包括:由下至上依次层叠的衬底,复合层,电极层,所述复合层具有预设形状的闭合型凹槽,其中,所述复合层包括由下至上层叠的温度补偿层和压电层,所述电极层位于所述凹槽以内的所述复合层的上表面。/n
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