[发明专利]磁性隧道结结构及其磁性存储器有效

专利信息
申请号: 201910950478.3 申请日: 2019-10-08
公开(公告)号: CN112635650B 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 张云森;郭一民;陈峻;肖荣福 申请(专利权)人: 上海磁宇信息科技有限公司
主分类号: H01L43/08 分类号: H01L43/08;H01L43/10
代理公司: 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287 代理人: 于晓菁
地址: 201815 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请提供一种磁性隧道结结构及其磁性存储器,所述磁性隧道结结构包括双层结构的参考层、垂直各向异性增强层、与设置于两方之间的晶格传输层共同构成参考层。本申请中由于垂直各向异性增强层的引入增强了参考的稳定性,进而有利于自由层在平行态和反平行态时,热稳定性的提升。同时,由于可以增加参考层的厚度,垂直隧穿磁阻比例(TMR)/结电阻面积积(RA)得以提升,有助于磁性存储器在磁学、电学和良率的提升,以及器件的进一步缩微。
搜索关键词: 磁性 隧道 结构 及其 存储器
【主权项】:
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