[发明专利]一种具有分级压峰结构的电子皮肤及其制备方法有效
申请号: | 201910951075.0 | 申请日: | 2019-10-08 |
公开(公告)号: | CN110693469B | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 黄禹;吴从义;荣佑民;张田 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | A61B5/0205 | 分类号: | A61B5/0205;A61B5/103;G01L1/18 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 张彩锦;曹葆青 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明属于传感器技术领域,并公开了一种具有分级压峰结构的电子皮肤及其制备方法,该电子皮肤包括柔性衬底和电极封装层,柔性衬底表面具有凸起结构,凸起结构表面溅射有压敏感应层,电极封装层为下表面具有导电功能的柔性薄膜,其下表面制备有网状的绝缘网层,电极封装层设置在凸起结构的顶部,且其上的绝缘网层与凸起结构顶部贴合,绝缘网层与所述柔性衬底边缘之间还设置有保持架,保持架的上表面与绝缘网层粘接,下表面与柔性衬底粘接。所述方法包括以下步骤:制备表面溅射有压敏感应层的柔性衬底;制备带绝缘网层的电极封装层;制备保持架并封装。本发明可获得灵敏度高、感应范围广的电子皮肤,具有简单易得,性能优异等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 分级 结构 电子 皮肤 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种具有分级压峰结构的电子皮肤,其特征在于,包括柔性衬底(1)和电极封装层(4),其中:/n所述柔性衬底(1)的表面具有凸起结构,该凸起结构作为电子皮肤的第一级压峰,其表面溅射有压敏感应层(2);/n所述电极封装层(4)为下表面具有导电功能的柔性薄膜,其下表面还制备有网状结构的绝缘网层(3),该电极封装层(4)设置在所述凸起结构的顶部,并且其上的绝缘网层(3)与凸起结构的顶部贴合,该凸起结构及其上的压敏感应层(2)位于所述绝缘网层网孔处的部分在后续受压过程中将进一步形成凸起以作为电子皮肤的第二级压峰;/n所述绝缘网层(3)与所述柔性衬底(1)边缘之间还设置有保持架(5),该保持架(5)的上表面与绝缘网层(3)粘接,下表面与柔性衬底(1)粘接。/n
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