[发明专利]一种磁性隧道结覆盖层及其制作工艺在审
| 申请号： | 201910951257.8 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN112635655A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 张云森;郭一民;肖荣福;陈峻 | 申请（专利权）人： | 上海磁宇信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/08 | 分类号： | H01L43/08;H01L43/12 |
| 代理公司： | 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287 | 代理人： | 于晓菁 |
| 地址： | 201815 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁性隧道结覆盖层及其制作工艺，磁性隧道结的覆盖层结构由下而上依序为覆盖层(I)，覆盖层(II)，覆盖层(III)和覆盖层(IV)叠加的结构所组成；覆盖层(I)为自由层提供一个额外的垂直各向异性来源，从而增加其热稳定性；覆盖层(II)降低所述磁性隧道结的阻尼系数，从而降低其临界电流，同时，其制作工艺有利增强自由层的热稳定性；覆盖层(III)在于实现覆盖层(II)和覆盖层(IV)之间的过渡；覆盖层(IV)作为后续的刻蚀阻挡层。如此磁性隧道结可以提供较高的热稳定性，同时也可以使临界电流有效的降低，非常有利制作超小型的磁性随机存储器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁性 隧道 覆盖层 及其 制作 工艺 | ||
【主权项】：
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