[发明专利]温控输送装置及方法

摘要

本发明涉及一种温控输送装置及方法，温控输送装置包括：控温机构、取放机构与传热件。上述温控输送装置在使用时，在对晶圆进行加工的过程中，由于需要对晶圆所处的环境进行温度控制，因此通过控温装置保证晶圆处理设备内部的温度。然后，待晶圆在晶圆处理设备内部加工完成后需要转移时，通过取放机构对晶圆处理设备内部的晶圆进行转移，同时由于传热件能够传递控温机构的热量，因此，取放机构会在传热件的作用下进行控温(升温或降温)，从而保证了晶圆在取放机构上转移时不会出现温差变化，即晶圆转移到另外一个晶圆处理设备中后，控温机构无需对晶圆进行再次升温，从而能够降低晶圆处理设备对于晶圆的加工时间，提高产能。