[发明专利]一种微机电轮式双水平轴陀螺有效

专利信息
申请号: 201910953192.0 申请日: 2019-10-09
公开(公告)号: CN112629515B 公开(公告)日: 2022-10-21
发明(设计)人: 赵前程;杨海兵;崔健 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: G01C19/5712 分类号: G01C19/5712
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 苟冬梅
地址: 100871 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种微机电轮式双水平轴陀螺,用于检测围绕水平面内X、Y轴的旋转,其特征在于:它包括外框、外环、内框、内环、敏感质量块、驱动梳齿、驱动检测梳齿、驱动连接梁、连接梁、扭转梁、检测电极、锚点和衬底,整个陀螺结构同时关于器件平面的X轴和Y轴对称。驱动梳齿连接在外框上,驱动检测梳齿连接在内框上,外框一方面通过驱动连接梁和锚点连接,另一方面通过连接梁和外环连接,内框一方面通过中间连接梁和中间锚点连接,另一方面通过连接梁和内环连接,敏感质量块一方面通过扭转梁和外环连接,另一方面通过扭转梁和内环连接,检测电极位于敏感质量块下方并固定在衬底上,结构层通过锚点和衬底固定连接。
搜索关键词: 一种 微机 轮式 水平 陀螺
【主权项】:
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