[发明专利]基于暗场图像的光学元件弱划痕检测方法、系统和装置

摘要

本发明属于机器视觉检测领域，具体涉及一种基于暗场图像的光学元件弱划痕检测方法、系统和装置，旨在为了解决现有技术对于深度较浅成像暗的弱划痕无法完成检测问题。本发明通过图像采集装置获取待检测光学元件的暗场图像；以设定大小的窗口作为遍历窗口在待检测图像中进行遍历，基于遍历窗口中灰度值小于作为遍历窗口中心点的像素的灰度值的像素数量对各像素灰度值进行更新；通过空域滤波获取第三图像组，将弱划痕图像的像素位置信息作为弱划痕检测结果输出。本发明能够增强划痕与背景的差异，从而通过判断即可检测出与背景灰度接近的弱划痕；在灰度值更新和空域滤波基础上，通过编码—解码卷积神经网络还可以实现弱划痕的自动化提取。

主权项

1.一种基于暗场图像的光学元件弱划痕检测方法，其特征在于，该方法包括：/n步骤S110,通过图像采集装置获取待检测光学元件的暗场图像，作为第一图像；/n步骤S120，以设定大小的窗口作为遍历窗口，分别以所述第一图像中的各像素点作为遍历窗口中心点，在所述待检测图像中进行遍历，获取各像素点的局部最大值指数；所述局部最大值为遍历窗口中灰度值小于作为遍历窗口中心点的像素的灰度值的像素数量；分别用各像素的局部最大值指数与预设第一阈值的差值对各像素灰度值进行更新，得到更新后的第一图像，作为第二图像；/n步骤S130，采用方向敏感卷积算子对所述第二图像进行空域滤波，获取多个第三图像，构建第三图像组；所述方向敏感卷积算子包含多个方向特征提取模板，所述方向特征提取模板中设置有过其中心点的方向线段，全部方向特征提取模板中的方向线段在其中一个方向特征提取模板上的投影成等夹角的辐条状，分别基于各方向特征提取模板提取所述第二图像中所述方向线段对应位置像素的灰度值的平均值；/n步骤S140，将每个第三图像中灰度值满足预设条件的像素组成的图斑识别为弱划痕图像，所述图斑的长宽比大于预设第二阈值；将所述弱划痕图像的像素位置信息作为弱划痕检测结果输出。/n