[发明专利]一种基于双层石墨烯的压强传感器及制备方法在审

专利信息
申请号: 201910957215.5 申请日: 2019-10-10
公开(公告)号: CN110686809A 公开(公告)日: 2020-01-14
发明(设计)人: 高力波;徐洁 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: G01L1/22 分类号: G01L1/22;G01L9/06
代理公司: 32249 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 代理人: 赵艳平
地址: 210093 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 基于双层石墨烯层间压强传感器,包括起码双层石墨烯、起码一对电极、衬底;衬底上生长或置有双层石墨烯,双层石墨烯具有堆叠区域,双层石墨烯分别连接一对电极。所述两层石墨烯厚度均为单层碳原子构成,具有六角晶格结构,厚度为0.35纳米。是一种大量程的压强传感器,用于探测压强的传感结构。所述传感器利用层间耦合作用可调节的双层石墨烯,作为感受外部压强的敏感元件,通过检测双层石墨烯的层间电阻率随外界压强的影响,从而其数值发生改变。所述传感器可探测压强范围0–1GPa的压强测量。
搜索关键词: 双层石墨 压强 压强传感器 电极 传感器 层间 衬底 六角晶格结构 层间耦合 传感结构 敏感元件 外界压强 压强测量 大量程 电阻率 可调节 可探测 石墨烯 碳原子 单层 堆叠 两层 探测 检测 生长 外部
【主权项】:
1.一种基于双层石墨烯层间压强传感器,其特征是,包括起码双层石墨烯、起码一对电极、衬底;衬底上生长或置有双层石墨烯,双层石墨烯具有堆叠区域,双层石墨烯分别连接一对电极。/n
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