[发明专利]一种X射线的高精度狭缝装置有效
申请号: | 201910959776.9 | 申请日: | 2019-10-10 |
公开(公告)号: | CN110749608B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 吴佳兴;李中亮;薛松;祝万钱;计展;秦宏亮;王楠 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海应用物理研究所 |
主分类号: | G01N23/00 | 分类号: | G01N23/00 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供的一种X射线的高精度狭缝装置,包括狭缝组件,其中,所述狭缝组件包括固定圆柱刀片组件和可调圆柱刀片组件,所述可调圆柱刀片组件与一柔性铰链机构相连。本发明解决了大宽度刀口研磨加工的技术难点,保证了其直线度。进一步地,本发明的狭缝开口调节机制具有良好的可操作性,在保证平行度的同时,极大提升了调节精度,能够实现亚微米量级的调节。 | ||
搜索关键词: | 一种 射线 高精度 狭缝 装置 | ||
【主权项】:
1.一种X射线的高精度狭缝装置,包括狭缝组件,其特征在于,所述狭缝组件包括固定圆柱刀片组件和可调圆柱刀片组件,所述可调圆柱刀片组件与一柔性铰链机构相连。/n
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