[发明专利]一种基板减薄加工的清洗装置及清洗方法在审
| 申请号： | 201910959847.5 | 申请日： | 2019-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112643533A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;刘远航;李长坤;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00;B08B1/00;B08B1/04;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 魏朋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板减薄加工的清洗装置及清洗方法，该清洗装置包括第一清洗单元、第二清洗单元及承载部，所述第一清洗单元及第二清洗单元设置于承载部并随承载部整体移动以完成吸盘工作台和/或保持于所述吸盘工作台的基板的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板减薄 加工 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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