[发明专利]一种基于电极质量负载效应的超高灵敏度谐振式声表面波传感器在审
| 申请号： | 201910965488.4 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN110658256A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 周剑;陈哲;刘翊;段辉高;郑江坡;吴建辉;熊硕 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/04;G01N29/24;G01H11/08 |
| 代理公司： | 44260 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王翀;阳江军 |
| 地址： | 410082 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于电极质量负载效应的超高灵敏度谐振式声表面波传感器，传感器结构从下至上依次为：衬底‑压电薄膜‑叉指电极‑传感区或者压电衬底‑叉指电极‑传感区，所述传感器传感区域在叉指电极上方，相比于传统敏感区域在双端叉指电极的声波传播中间区域，传感区域置于叉指电极上方可以利用叉指电极上更为明显的质量负载效应，使得有质量负载时，声表面波器件谐振频率偏移更大，传感器灵敏度更高。所述叉指电极的波长为120nm～40μm，金属化率为0.1～0.9。本发明的有益效果如下：超高灵敏、易于检测以及工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 叉指电极 质量负载效应 传感区域 传感区 声表面波传感器 传感器灵敏度 声表面波器件 谐振频率偏移 超高灵敏度 传感器结构 超高灵敏 金属化率 敏感区域 声波传播 压电薄膜 压电衬底 质量负载 中间区域 谐振式 电极 传感器 波长 衬底 双端 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基于电极质量负载效应的超高灵敏度谐振式声表面波传感器，包括衬底(5)，所述衬底(5)上方中部设置有叉指电极(2)，叉指电极两侧分别安装有反射栅(4)，其特征在于，所述叉指电极(2)正上方设置有传感区(3)；叉指电极(2)为均匀叉指电极，波长为120nm～40μm，金属化率为0.1～0.9：传感区(3)为对被测物敏感的敏感层或用于沉积被测物质的区域；所述衬底(5)为压电衬底(1)或顶部紧邻固定有压电薄膜(6)。/n
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