[发明专利]一种精密半导体清洗装置

摘要

本发明涉及半导体技术领域，公开了一种精密半导体清洗装置，包括箱体、控制器、水箱、半导体进出口、废水出口；箱体的内部左侧固定安装有气缸腔，气缸腔的内中部固定有气缸，气缸的右侧输出端设置有穿过气缸腔的横向的活塞杆，活塞杆的末端固定安装有旋转安装块，旋转安装块的右侧转动连接有与活塞杆同轴心的连接杆，连接杆的末端固定安装有夹持块，箱体的内部右侧固定安装有旋转电机腔，旋转电机腔的内中部设置有旋转电机，旋转电机的左侧输出端转动连接有穿过旋转电机腔的旋转杆，旋转杆的末端也固定安装有夹持块。夹持块的一侧设置有夹持口，位于夹持块上方的箱体的内顶部向下设置有两组喷水口。本发明冲洗速度快，全面，精度高，效果好。

主权项

1.一种精密半导体清洗装置，包括箱体（10）、控制器（11）、水箱（12）、半导体进出口（13）、废水出口（17）；箱体（10）的左侧壁中部固定安装有控制器（11），箱体（10）的顶部左侧固定安装有一组水箱（12），水箱（12）的右侧箱体（10）上向下开设有半导体进出口（13），其特征在于，箱体（10）设置为透明结构，箱体（10）的内部左侧固定安装有气缸腔（19），气缸腔（19）的内中部固定有气缸（20），气缸（20）的右侧输出端设置有穿过气缸腔（19）的横向的活塞杆（21），活塞杆（21）的末端固定安装有旋转安装块（22），旋转安装块（22）的右侧转动连接有与活塞杆（21）同轴心的连接杆（23），连接杆（23）的末端固定安装有夹持块（16），箱体（10）的内部右侧固定安装有旋转电机腔（18），旋转电机腔（18）的内中部设置有旋转电机（24），旋转电机（24）的左侧输出端转动连接有穿过旋转电机腔（18）的旋转杆（25），旋转杆（25）的末端也固定安装有夹持块（16），夹持块（16）的一侧设置有夹持口（26），位于夹持块（16）上方的箱体（10）的内顶部向下设置有两组喷水口（28），喷水口（28）的顶部通过输水管（29）连通到固定在箱体（10）上表面的水箱（12）上，输水管（29）上设置有电磁阀，箱体（10）的底部左右两侧向下开设有废水出口（17）。/n