[发明专利]一种烧结NdFeB表面等离子协同气相沉积Ni材料及制备工艺在审
| 申请号： | 201910967120.1 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110699635A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 杨子旋;仓盛;戴家雷 | 申请（专利权）人： | 宁波慧钜鑫新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/30;C23C14/16 |
| 代理公司： | 32331 苏州国卓知识产权代理有限公司 | 代理人： | 林远银 |
| 地址： | 315040 浙江省宁波市高*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种烧结NdFeB表面等离子协同气相沉积Ni材料及制备工艺，该工艺包括前处理工艺、表面工艺、后续处理，并对镀好的试样进行250‑400℃，保温15‑40min的热处理，制备的NdFeB材料，表面膜和基体之间的粘结力提高1倍以上，基体清洁度更高，气相沉积的Ni层晶粒度较小，晶粒去向和基体配合的更密切，新工艺下表面膜的腐蚀抗性大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 气相沉积 清洁度 表面等离子 热处理 烧结NdFeB 晶粒 表面工艺 后续处理 制备工艺 表面膜 晶粒度 前处理 下表面 新工艺 粘结力 抗性 制备 保温 协同 腐蚀 配合 | ||
【主权项】：
1.一种烧结NdFeB表面等离子协同气相沉积Ni材料的制备工艺，其特征在于，所述制备工艺包括如下步骤：/nA、前处理工艺/n1）准备未磁化的烧结NdFeB试样；/n2）对试样用砂纸进行打磨，然后用超细金刚石抛光膏对NdFeB进行抛光处理；/n3）表面清洗，对抛光后的NdFeB材料进行碱洗和酸洗，后采用超声清洗机和酒精对试样进行清洗，并把试样吹干；/nB、表面工艺/na．采用电子束式物理气相沉积装置，对烧结NdFeB试样进行表面镀膜；采用真空泵对所述电子束式气相沉积装置进行抽真空处理，使腔内真空度达到1×10
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