[发明专利]一种金纳米线的制备方法有效
申请号: | 201910969442.X | 申请日: | 2019-10-12 |
公开(公告)号: | CN110724910B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 陈王华;张晓伟;贡瑞苓 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/16;C23C14/58;B22F1/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙) 33243 | 代理人: | 王玲华;洪珊珊 |
地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明属于纳米材料技术领域,涉及一种金纳米线的制备方法。所述制备方法包括以下步骤:S1、在反应室腔体内表面预涂覆氢化非晶硅层;S2、在硅衬底上镀金薄膜,然后将样品置于步骤S1的反应室腔体内;S3、对反应室进行加热和抽真空处理,然后通入气体,并施加射频功率激发气体形成等离子体,所述金薄膜经等离子体处理后形成金纳米线。该制备方法简单而且效率高,能实现大规模金纳米线的制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种金纳米线的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:/nS1、在反应室腔体内表面预涂覆氢化非晶硅层;/nS2、在硅衬底上镀金薄膜,然后将样品置于步骤S1的反应室腔体内;/nS3、对反应室进行加热和抽真空处理,然后通入气体,并施加射频功率激发气体形成等离子体,所述金薄膜经等离子体处理后形成金纳米线。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波大学,未经宁波大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910969442.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类