[发明专利]基于彩色相机的二维材料形貌快速表征系统和方法有效
| 申请号： | 201910970207.4 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110793942B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 胡春光;王浩;霍树春;姚程源;曲正;胡晓东;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01B11/24;G01B11/06 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于彩色相机的二维材料形貌快速表征系统及方法，包括三色光源模块、分束器、测量光路、彩色成像模块与数据处理模块，其中：三色光源模块，用于整个系统的照明；分束器，用于将三色光源模块产生的照明光束分成两路光束，分别为测量光束与参考光束；彩色成像模块，分时控制光路通断，使用彩色相机分别对待测样品和标准样品进行成像；将两次成像时的光强图像按照感光面元上红、绿、蓝三个通道分别读出，获得样品三色光下的显微光强图像；数据处理模块，使用差分反射的计算方法，得到对应于红光、绿光、蓝光下被测样品的显微差分反射信号；利用模型反演与数据拟合的方法，获得各像素被测二维材料的厚度，结合像素排布，完成对二维材料形貌的表征。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 彩色 相机 二维 材料 形貌 快速 表征 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于彩色相机的二维材料形貌快速表征系统，采用复色光的显微差分反射光谱测量方式，包括三色光源模块、分束器、测量光路、彩色成像模块与数据处理模块。其中：/n三色光源模块，用于整个系统的照明；/n分束器，用于将三色光源模块产生的照明光束分成两路光束，分别为测量光束与参考光束；/n测量光路，用于将测量光束汇聚至待测样品表面构成临界照明，并将经由待测样品反射的反射光束返回，经分束器进入所述的彩色成像模块；/n参考光路，用于将参考光束汇聚至标准样品表面构成临界照明，并将经由标准样品反射的反射光束返回，经分束器进入所述的彩色成像模块；/n彩色成像模块，分时控制光路通断，使用彩色相机分别对待测样品和标准样品进行成像；将两次成像时的光强图像按照感光面元上红、绿、蓝(R、G、B)三个通道分别读出，获得样品三色光下的显微光强图像；/n数据处理模块，使用差分反射的计算方法，得到对应于红光、绿光、蓝光下被测样品的显微差分反射信号；利用模型反演与数据拟合的方法，获得各像素被测二维材料的厚度，结合像素排布，完成对二维材料形貌的表征。/n
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