[发明专利]一种蓝宝石衬底粗糙表面碳化硼的去除方法在审
| 申请号： | 201910971713.5 | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN110802052A | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 杨华;宋述远;蔡金荣 | 申请（专利权）人： | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B7/00;H01L33/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹翠珍;楼高潮 |
| 地址： | 212200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石衬底粗糙表面碳化硼的去除方法，该方法包括以下步骤：(1)将研磨后的蓝宝石晶片通过酸性溶液进行浸泡；(2)对浸泡后的晶片进行刷洗，刷洗的同时用纯水冲洗；(3)将晶片置于30～60℃的热水中，进行超声清洗3～5min；(4)将晶片进行高温有氧烧结；(5)将晶片置于纯水中双面刷洗，即可。本发明的去除方法避免了传统的多槽清洗、漂洗的处理方法，清洗工艺简单，稳定性好，良品率高，另一方面，用水较少，对环保要求低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 粗糙 表面 碳化 去除 方法 | ||
【主权项】：
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