[发明专利]光阻黏附性测试方法及光学检查机

摘要

本揭示公开一种光阻黏附性测试方法，其包含：涂布一待测光阻于一沉积有金属层或绝缘层的玻璃基板上，再将所述待测光阻以一掩膜曝光显影形成一光阻图案；使用清洗液以一预定液压冲洗所述基板上的所述光阻图案；当检测经冲洗后的光阻图案有缺失时，记录所述预定液压；及当检测到经冲洗后的光阻图案无缺失时，增加所述预定液压并进行冲洗。本揭示所提供之光阻黏附性测试方法可全自动进行而能节省大量的人力和时间，且相比于百格测试法无人为划格用力不均的问题，并且测试结果更贴近实际上光阻材料对基板的黏附性。