[发明专利]一种耐磨阻扩散的铝铬钛氮与氧化铝多层复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公布的耐磨阻扩散的铝铬钛氮与氧化铝多层复合涂层是由CrAlTiZrY高熵合金粘结层、α‑Cr2O3氧化物模板层、α‑Al2O3氧化物阻扩散层、AlCrTiN氮化物耐磨层四个子层构成的整体，这四个子层的顺序是由内至外，涂层总厚度为1～3μm。其制备方法为：对基底进行加热和离子刻蚀后，先利用电弧蒸发镀工艺在基底上沉积CrAlTiZrY层；然后使用阴极电弧离子镀工艺，再继续依次沉积α‑Cr2O3层、α‑Al2O3层和AlCrTiN层。铝铬钛氮涂层与氧化铝涂层的协同作用，使得涂层在高温工作条件下可以有效阻碍各元素原子的内、外扩散，并且高温耐磨性好，制备工艺简单，易于实施，适合工业化生产应用。