[发明专利]一种微纳米级台阶高度样板及其制备方法在审
| 申请号： | 201910973824.X | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112723297A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 王云祥;黄红平;刘娟;郭郑来 | 申请（专利权）人： | 苏州市计量测试院 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00;B81C99/00;G01B11/27;G01B11/30 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 215128 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种微纳米级台阶高度样板及其制备方法，该微纳米级台阶高度样板包括基座、台阶结构和防护层；台阶结构设置于基座上；防护层包覆基座和台阶结构，本申请还提供该微纳米级台阶高度样板的制备方法：包括以下步骤：对待加工材料粗切割，形成待处理样板，待处理样板包括基座和台阶结构；对待处理样板进行热处理；对经过热处理的待处理样板进行高精度磨床加工；对经过高精度磨床加工后的待处理样板进行表面黑色磷化处理，得到该微纳米级台阶高度样板；其中，微纳米级台阶高度样板的表面包括防护层。如此，本申请提供的微纳米级台阶高度样板样板表面具有漫反射表面特征，满足激光非接触式和其他类型扫描形式测量仪器的校准需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 台阶 高度 样板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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