[发明专利]一种可调节的微孔薄膜沉积装置及使用方法

摘要

本申请公开了一种可调节的微孔薄膜表面沉积装置及使用方法,涉及二次电池用隔膜制造领域。本申请通过在内筒体内划分若干不同的通气区域，并在不同通气区域内通入特定气体，使薄膜在绕内筒体一周的范围内，分区域成绩从内筒体筒壁上的通气孔透出的反应气体，即可实现多次的ALD循环。此外，本申请通过设置隔板和中心轴，隔板与中心轴滑动连接，使用时能够调节两个隔板之间的距离，进而调整通气区域的宽度，以控制第一反应气体、第二反应气体或非反应气体在不同通气区域的通气量。

主权项

1.一种可调节的微孔薄膜沉积装置，包括：/n外筒体；/n内筒体，所述内筒体设置在所述外筒体内，所述内筒体与所外筒体之间形成有反应空间，所述薄膜穿过所述反应空间绕所述内筒体一周，所述内筒体具有：/n若干通气孔，所述通气孔均匀分布在所内筒体的侧壁上；/n中心轴，所述中心轴设置在所述内筒体的中心；/n隔板，所述隔板安装在所述中心轴外周，所述隔板用于将内筒体和中心轴之间的空间等分为若干通气区域，所述若干通气区域包括若干第一通气区域、若干第二通气区域和若干第三通气区域，所述第一通气区域和所述第二通气区域交替设置，所述第三通气区域设置在任意一组第一通气区域和第二通气区域之间，所述隔板与所述中心轴滑动连接。/n