[发明专利]一种快速二维扫描光波导相控阵列结构在审
| 申请号： | 201910976182.9 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110750003A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 王子豪;孙艳玲;廖家莉;鲁振中;韩香娥 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025;G02F1/29 |
| 代理公司： | 61230 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种快速二维扫描光波导相控阵列结构，包括衬底层，衬底层为n型掺杂的GaAs材料；缓冲层，设置于衬底层上，缓冲层为p型掺杂的Al | ||
| 搜索关键词： | 微结构层 衬底层 缓冲层 发射天线单元 移相器件 耦合元件 功分器 光波导 级联式 相控阵列 波导结构 二维扫描 依次连接 相控阵 二维 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种快速二维扫描光波导相控阵列结构，其特征在于，包括：/n衬底层，所述衬底层为n型掺杂的GaAs材料；/n缓冲层，设置于所述衬底层上，所述缓冲层为p型掺杂的Al
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安电子科技大学，未经西安电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910976182.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
