[发明专利]一种不耐氧二维薄层材料精确制作微电极的方法

摘要

本发明公开了一种不耐氧二维薄层材料的微电极精确制作方法，在手套箱中将不耐氧的二维薄层材料转移至做好的电极上，过程中无任何暴露氧气的步骤，全在手套箱中进行；本发明中还将保护材料硼氮精确转移至二维薄层材料的表面，即使将二维薄层材料电极器件拿出手套箱，二维薄层材料也受到了良好的保护，便于材料本征性质的研究。

主权项

1.一种二维薄层材料的微电极精确制作方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤一、在硅片基底上加工金属微电极；/n步骤二、在手套箱中剥离二维薄层材料至PDMS片上，具体为：/n在手套箱中，取一块蓝胶带，对待研究的二维材料块材进行剥离；再取一块蓝胶带对第一次剥离的粘有二维材料的蓝胶带进行对粘，再取第三块蓝胶带对第二块蓝胶带上的二维材料进行剥离，如此，通过蓝胶带多次剥离，将剩余在最后一块蓝胶带上的二维材料作为二维材料样品(1)粘在透明的PDMS片上，获得第一PDMS样品片(3)；/n步骤三、在手套箱中将样品和硅片基底分别固定在上、下转移台：/n上转移台具有三个自由度移动，采用带有通孔(4)的金属板(2)，将金属板(2)固定在上转移台上；再将第一PDMS样品片(3)粘有二维材料样品(1)朝下粘在金属板(2)的通孔(4)处；通过移动上转移台，从而控制第一PDMS样品片(3)的位置；/n下转移台采用一个带小孔的金属托，小孔的下端抽真空，将步骤一制作的带有金属微电极的硅片放置在小孔上端；利用显微镜观察下转移台上固定的硅片，移动下转移台，使硅片移动至显微镜视野中央的位置，金属微电极对准小孔，显微镜对焦到金属微电极上；/n步骤四、在手套箱中水平移动上转移台，透过所述金属板(2)的通孔(4)，在显微镜的视野中寻找第一PDMS样品片(3)上的二维材料样品(1)，使二维材料样品(1)移动至显微镜视野中央的位置；竖直方向降低上转移台，使第一PDMS样品片(3)不断接近下转移台的硅片，随着上下转移台位置的靠近，微调下转移台，最终使二维材料样品(1)压到电极线(5)最细的平行部分；继续竖直方向降低上转移台，直到将第一PDMS样品片(3)与硅片贴合；/n步骤五、在竖直方向缓慢抬起上转移台，二维材料样品(1)留在硅片上，第一PDMS样品片(3)从硅片慢慢移除；待第一PDMS样品片(3)从硅片的图形区域脱离，快速抬起上转移台，如此得到薄层样品；/n步骤六、在手套箱中剥离硼氮至第二PDMS样品片：/n在手套箱中，取一块蓝胶带，对硼氮二维材料块材进行剥离；再取一块蓝胶带对第一次剥离的粘有硼氮二维材料的蓝胶带进行对粘，再取第三块蓝胶带对第二块蓝胶带上的硼氮二维材料进行剥离，如此，通过蓝胶带多次剥离，将剩余在最后一块蓝胶带上的硼氮二维材料粘在透明的PDMS片上，获得第二PDMS样品片；/n步骤七、将硼氮转移至薄层材料表面：/n采用步骤三、步骤四以及步骤五的方法，将第二PDMS样品片上的硼氮二维材料转移至步骤五获得的薄层样品表面，获得硼氮保护的二维薄层材料电极。/n