[发明专利]一种大功率微波双谱紫外灯装置有效
申请号: | 201910980429.4 | 申请日: | 2019-10-15 |
公开(公告)号: | CN110739201B | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 朱铧丞;杨阳;黄卡玛 | 申请(专利权)人: | 四川大学 |
主分类号: | H01J65/04 | 分类号: | H01J65/04;H01J61/02 |
代理公司: | 成都东恒知盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51304 | 代理人: | 何健雄;廖祥文 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及一种大功率微波双谱紫外灯装置,包括第一腔体、第二腔体、波导缝隙、波导一、波导二、无极紫外灯、激励腔一、磁控管一、激励腔二和磁控管二,所述第一腔体连接有第二腔体,所述第一腔体上连接有波导一和波导二,所述波导一和波导二上连接有外置实验连接装置激励腔一、磁控管一、激励腔二和磁控管二。该大功率微波双谱紫外灯装置由两个波导与半椭圆形腔体相连接,通过中间的开缝向腔体内馈如微波,微波从两个波导同时馈如,在半椭圆形腔体上开设的波导缝隙的方向不同,导致微波的极化方向不同,可以达到降低互耦的效果,提高了能量的利用率,场分布也能达到较好的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 大功率 微波 紫外 装置 | ||
【主权项】:
1.一种大功率微波双谱紫外灯装置,包括第一腔体(1)、波导一(4)和波导二(5),其特征在于:所述第一腔体(1)连接有第二腔体(2),所述第一腔体(1)上连接有波导一(4)和波导二(5),所述波导一(4)和波导二(5)上连接有外置实验连接装置激励腔一(7)、磁控管一(8)、激励腔二(9)和磁控管二(10)。/n
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