[发明专利]一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法在审
| 申请号： | 201910980459.5 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112670146A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 周雷 | 申请（专利权）人： | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/302 | 分类号： | H01J37/302;H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法，包括：预备程序(1)、左片库线程程序(2)、定向台线程程序(3)、靶台线程程序(4)、左机械手线程程序(5)、右机械手线程程序(6)。左片库全局状态变量LLL_Sts(7)、定向台全局状态变量Ort_Sts(8)、靶台全局状态变量Platen_Sts(9)、左机械手全局状态变量TM1_Sts(10)、右机械手全局状态变量TM2_Sts(11)。其中预备程序(1)和线程程序(2)、(3)、(4)、(5)、(6)是在平台基础上的二次开发。全局状态变量(7)、(8)、(9)、(10)、(11)是内存变量。线程程序(2)、(3)、(4)、(5)、(6)根据状态变量来调度运动单元，动作完成后更新状态变量，以此实现晶片传送。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 晶片 并行 传送 软件 调度 方法 | ||
【主权项】：
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