[发明专利]一种应用于靶材的大尺寸无氧铜锭的生产装置及方法

摘要

本发明提供一种应用于靶材的大尺寸高纯高密度无氧铜锭的生产装置，所述装置包括升降机构，在无氧铜锭的生产过程中，原料铜熔化之后，升降机构能够带动中频线圈、保温层和气冷组件向上移动，实现铜液由下向上的定向凝固。在铜液的凝固过程中，由于冷却机构在坩埚组件的下方，并且气冷组件由下往上缓慢而均匀的运动，使得铜液从坩埚的底部开始凝固，坩埚底部为固态铜，上部为未冷却的液态铜，出现固液同时存在的现象，确保固态铜或者正在固化的铜表面一直有液体铜的存在，当底部的固态铜中产生孔洞等缺陷时，上部的铜液能够及时进行补充，达到补缩的效果，减少铜锭的内部缺陷，提高铜锭的密度，得到的无氧铜锭纯度高、密度大、尺寸大、缺陷小。

主权项

1.一种应用于靶材的大尺寸无氧铜锭的生产装置，其特征在于，包括机架(1)和设置于机架(1)上的熔化机构(2)、冷却机构(3)、升降机构(4)、脱氧机构(5)和温控机构(6)；/n所述熔化机构(2)包括坩埚组件(21)和中频线圈(22)；/n所述坩埚组件(21)设置于所述中频线圈(22)中；/n所述坩埚组件(21)包括坩埚本体(211)、设置于坩埚本体(211)顶部的坩埚密封盖(212)和设置于坩埚本体(211)底部的坩埚托盘(213)；/n所述冷却机构(3)包括水冷组件(31)和气冷组件(32)；/n所述水冷组件(31)设置于所述坩埚托盘(213)的内部；/n所述气冷组件(32)设置于所述水冷组件(31)的下方；/n所述升降机构(4)设置于所述坩埚本体(211)外部的一侧；/n所述升降机构(4)通过连接杆连接中频线圈(22)和气冷组件(32)；/n所述升降机构(4)的连接杆能够沿竖直方向上下移动；/n所述脱氧机构(5)能够向所述坩埚本体(211)中输送脱氧气体和惰性保护气体的脱氧混合气体；/n所述温控机构(6)监测所述坩埚本体(211)内部的温度。/n