[发明专利]谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法及检查方法在审
| 申请号： | 201910982804.9 | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN111289091A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 关智志路;塚崎友英;德嵩文男;M·蒙赫巴特 | 申请（专利权）人： | 日置电机株式会社 |
| 主分类号： | G01H13/00 | 分类号： | G01H13/00;G01H9/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 俞丹;宋俊寅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法及检查方法，实现装置的小型化及提高谐振频率确定作业的作业效率。其能确定MEMS反光镜元件(100)的谐振频率(fm)，通过向MEMS反光镜元件(100)提供驱动用的交流信号(S1)来使反光镜转动从而使反射光的偏转角变化，谐振频率(fm)是偏转角达到最大时交流信号(S1)的频率，包括：信号输出部(11)，能一边改变频率一边输出交流信号(S1)；测定部(12)，在交流信号(S1)被提供给MEMS反光镜元件(100)的状态下，基于MEMS反光镜元件(100)输出的输出信号(S2)测定电阻值(R)；及处理部(16)，执行确定处理，基于随频率改变而变化的电阻值(R)达到极值时的频率，确定谐振频率(fm)。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 频率 确定 装置 检查 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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