[发明专利]一种精密二维转台轴间位置误差的测量装置及方法有效
| 申请号： | 201910983054.7 | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN110631523B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 娄志峰;高瑞;张记云;范光照 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉;刘秋彤 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种精密二维转台轴间位置误差的测量装置及方法，属于精密测量领域。所述的测量装置包括半导体激光器、光源固定基座、二维位置传感器、传感器固定座、连接板、二维角度调整架和XZ两轴平移升降台。所述的测量方法是使用固定在二维转台俯仰轴末端的激光器和二维位置传感器来测量两个指定位置上俯仰轴的旋转中心，通过比较两个中心坐标的差异，直接且容易地获得转台的轴间位置误差。本发明实现了二维转台轴间位置误差的高精度直接测量，不受单轴回转误差等其他参数对测量结果的影响；同时测量过程简单，测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 二维 转台 间位 误差 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种精密二维转台轴间位置误差的测量装置，其特征在于，所述的测量装置包括半导体激光器(9)、光源固定基座(10)、二维位置传感器(8)、传感器固定座(7)、连接板(6)、二维角度调整架(11)和XZ两轴平移升降台(5)；所述半导体激光器(9)安装在光源固定基座(10)上，光源固定基座(10)与二维角度调整架(11)的一端连接，二维角度调整架(11)的另一端与二维转台俯仰轴(1)的端部相连，且半导体激光器(9)、光源固定基座(10)及二维角度调整架(11)能跟随二维转台俯仰轴(1)同步稳定转动，二维转台方位轴(2)竖直设置；二维位置传感器(8)设置于传感器固定座(7)中，传感器固定座(7)通过连接板(6)安装在XZ两轴平移升降台(5)上，二维位置传感器(8)感测区域位于二维转台俯仰轴(1)的延长线上。/n
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