[发明专利]一种采用定容法测试吸气材料吸气性能的测试系统在审
| 申请号： | 201910983417.7 | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN110672462A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 向杰;候雪玲 | 申请（专利权）人： | 上海晶维材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/04 | 分类号： | G01N7/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200333 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明专利公开了一种采用定容法测试吸气材料吸气性能的测试系统。由真空获得系统，真空测量系统等八个子系统所组成。利用理想状态气体方程和已知体积定容瓶来给吸气材料循环充气直至饱和的原理来进行测试。本系统通过特殊设计的真空管道系统和管道脱气处理，可以对各种吸气材料(特别是MEMS真空封装吸气薄膜)的吸气性能进行测试。 | ||
| 搜索关键词： | 吸气 吸气材料 测试 真空测量系统 真空管道系统 真空获得系统 测试系统 理想状态 气体方程 体积定容 脱气处理 真空封装 定容法 充气 薄膜 饱和 | ||
【主权项】：
1.一种采用定容法测试吸气材料吸气性能的测试系统，其特征在于：由真空获得系统，真空测量系统，真空管道系统，测试充气，管道烘烤，样品激活，数据采集及控制，设备框架共八个子系统所组成。/n
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