[发明专利]基于柔性杆的高精度柔性微定位平台

摘要

本发明提供了一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台，其能解决现有分布柔度式定位平台各支链结构差异较大，不同支链运动性能不够稳定，理论分析较复杂，以及当仅有X或Y方向有运动输入时，还是会产生一定的耦合位移，影响平台运动精度的问题。其包括基座、动平台、四个第一柔性支链和一个第二柔性支链；第一柔性支链由四个双四杆型柔性模块组成，其中三个双四杆型柔性模块并联，再与剩余一个双四杆型柔性模块串联；第二柔性支链由五个双四杆型柔性模块组成，其中四个双四杆型柔性模块并联，再与剩余一个双四杆型柔性模块串联；基座上还分别固定安装有X向电磁驱动器、Y向电磁驱动器和Z向电磁驱动器。

主权项

1.一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台，其包括基座、动平台、四个第一柔性支链和一个第二柔性支链；四个所述第一柔性支链两两对称分布于所述动平台的四周；其特征在于：/n所述第一柔性支链由四个双四杆型柔性模块组成，其中三个所述双四杆型柔性模块的末端共同连接于连接模块一，首端分别通过连接模块二与所述基座连接，且三个所述双四杆型柔性模块中有两个呈水平布置于所述连接模块一的两侧，一个呈竖向布置于所述连接模块一的下方；剩余一个所述双四杆型柔性模块呈水平布置并与三个所述双四杆型柔性模块垂直，且其末端与所述动平台连接，首端与所述连接模块一连接；/n所述第二柔性支链位于所述动平台下方并位于四个所述第一柔性支链的内侧，所述第二柔性支链由五个双四杆型柔性模块组成，其中四个所述双四杆型柔性模块与所述第一柔性支链中的与所述动平台连接的四个所述双四杆型柔性模块上下一一正对且平行，且其末端共同连接于连接模块三，首端分别通过连接模块四与所述基座连接；剩余一个所述双四杆型柔性模块呈竖向布置且其末端与所述动平台连接，首端与所述连接模块三连接；/n所述基座上还分别固定安装有X向电磁驱动器、Y向电磁驱动器和Z向电磁驱动器，所述X向电磁驱动器和所述Y向电磁驱动器的驱动端分别与相邻的两个所述连接模块一连接，所述Z向电磁驱动器的驱动端与所述连接模块三连接。/n