[发明专利]单晶炉及利用该单晶炉制备晶棒的方法在审
| 申请号： | 201910992640.8 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN112680784A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 薛抗美 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 肖阳 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了单晶炉及利用该单晶炉制备晶棒的方法，单晶炉包括：单晶炉本体、石英坩埚、籽晶、第一加热器、第二加热器、导流筒和第三加热器，单晶炉本体内限定出容纳空间；石英坩埚设在容纳空间；籽晶可垂直移动地设在石英坩埚上方且可伸入熔硅中以便直拉长晶得到晶棒；第一加热器设在单晶炉本体内且位于石英坩埚的下方；第二加热器设在单晶炉本体内且环绕石英坩埚的侧壁；导流筒设在石英坩埚上方且环绕晶棒的一部分；第三加热器包括螺旋加热丝、正极脚和负极脚，螺旋加热丝的螺径自上而下减小，螺旋加热丝环绕晶棒且位于石英坩埚和导流筒之间，正极脚穿过导流筒与螺旋加热丝的一端连接，负极脚穿过导流筒与螺旋加热丝的另一端连接。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 利用 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司，未经徐州鑫晶半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910992640.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：点数管理系统及其实施方法
- 下一篇：一种聚丙烯腈基牛奶蛋白纤维及其制备方法
