[发明专利]一种用于FIBM加工三维微结构的灰度图生成方法及系统有效
| 申请号： | 201910993627.4 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN110781590B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 许剑锋;陈肖;张建国;任振洲 | 申请（专利权）人： | 武汉数字化设计与制造创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06T17/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红 |
| 地址： | 430206 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于FIBM加工三维微结构的灰度图生成方法，先利用三维微结构设计图生成原始灰度图并建立FIBM灰度图加工的轮廓仿真模型，将原始灰度图输入仿真模型进行仿真加工，将仿真加工轮廓与设计轮廓对比得到轮廓误差，利用轮廓误差对用于仿真的灰度图进行修正得到新的灰度图，再用新的灰度图作为输入多次迭代优化，得到用于FIBM加工的最终灰度图。该发明的方法可以获得高效的FIBM加工灰度图，实现单张灰度图即可完成FIBM高精度加工三维微结构，在微纳加工领域具有极高的应用和推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 fibm 加工 三维 微结构 灰度 生成 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于FIBM加工三维微结构的灰度图生成方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、利用三维微结构设计图生成原始灰度图；/nS2、建立FIBM灰度图加工的轮廓仿真模型，用于实现FIBM灰度图加工不同轮次的轮廓仿真，将所述原始灰度图输入到轮廓仿真模型进行仿真加工；/nS3、将仿真加工后的轮廓与设计轮廓进行对比，得到轮廓误差，利用轮廓误差对原始灰度图进行修正后得到新的灰度图，将所述新的灰度图再次输入所述轮廓仿真模型进行仿真加工；/nS4、重复步骤S3进行迭代优化，直到轮廓误差满足精度要求停止迭代，得到用于FIBM加工的最终灰度图。/n
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