[发明专利]检查方法及检查装置在审
| 申请号： | 201910993679.1 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN111077916A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 泽地淳;纲仓纪彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够检查流量控制器的控制功能的流量控制器的检查方法。进行流体的流量控制的流量控制器的检查方法包括：基准记录步骤，根据在基准测定步骤中测定的基准数据，生成及记录将第1压力、设定流量或第2压力及压电元件的控制值建立关联的三维数据库；对象测定步骤，在执行基板处理工艺时，将与通过第1压力检测器检测出的第1压力、基板处理工艺的方案中指定的设定流量或通过第2压力检测器检测出的第2压力对应的压电元件的控制值作为对象数据来进行测定；及判定步骤，通过对对象数据与三维数据库中包含的基准数据进行比较，判定隔膜阀中是否存在不良情况。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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