[发明专利]一种生物电子芯片及其制作方法有效
| 申请号： | 201910995677.6 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN110672700B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 卢瀚仑;陈志涛;刘宁炀;任远;梁锡辉 | 申请（专利权）人： | 广东省半导体产业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414;H01L29/778 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 董艳芳 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种生物电子芯片及其制作方法，涉及生物检测技术领域。首先基于衬底的一侧制作包含栅电极层的芯片本体，然后基于栅电极层远离衬底的一侧制作过渡层，再基于过渡层远离衬底的一侧制作偶联分子层；其中，偶联分子层包括第一偶联分子，最后沿偶联分子层的表面偶联经预处理后的生物分子层，以制作生物电子芯片，其中，经预处理后的生物分子层包括第二偶联分子，第一偶联分子与第二偶联分子之间能够进行可逆反应。本申请提供了一种生物电子芯片及其制作方法具有提升了生物电子芯片的使用寿命，降低了使用成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生物 电子 芯片 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种生物电子芯片制作方法，其特征在于，所述方法包括：/n基于衬底的一侧制作包含栅电极层的芯片本体；/n基于所述栅电极层远离所述衬底的一侧制作缓冲层；/n基于所述缓冲层远离所述衬底的一侧制作偶联分子层；其中，所述偶联分子层包括第一酶联分子；/n沿所述偶联分子层的表面偶联经预处理后的生物分子层，以制作生物电子芯片，其中，所述经预处理后的生物分子层包括第二酶联分子，所述第一酶联分子与所述第二酶联分子之间能够进行可逆反应。/n
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