[发明专利]光阑装置在审
申请号: | 201910996199.0 | 申请日: | 2019-10-18 |
公开(公告)号: | CN110646450A | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 李治多;马欣;殷雯;徐菊萍;夏远光;陈怀灿;袁柳斌 | 申请(专利权)人: | 散裂中子源科学中心;中国科学院高能物理研究所 |
主分类号: | G01N23/20008 | 分类号: | G01N23/20008 |
代理公司: | 44281 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郭燕;彭家恩 |
地址: | 523808 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请所公开的一种光阑装置,包括:基板,基板设有狭缝;基板正面的一侧设有第一滑台,另一侧设有第二滑台,第一滑台内侧边缘固定有至少一个第一光阑刀片,第二滑台内侧边缘固定有至少一个第二光阑刀片;基板上还设有可供第一滑台及第二滑台移动的横向导轨副,以及用于分别驱动第一滑台及第二滑台沿水平方向移动的第一压电陶瓷电机及第二压电陶瓷电机。本发明所给出的光阑装置,采用分辨率更高的压电陶瓷电机驱动各滑台移动,从而精确控制各刀片的定位精度,获得更高精度的狭缝开口;各刀片独立控制,可以在规定范围内任意调节单个刀片的位置,灵活调节狭缝开口大小;基板底部可在三维空间内进行位置微调,提高仪器安装时的整体精度。 | ||
搜索关键词: | 滑台 刀片 基板 压电陶瓷电机 光阑装置 内侧边缘 狭缝开口 光阑 三维空间 水平方向移动 驱动 单个刀片 独立控制 横向导轨 任意调节 位置微调 仪器安装 分辨率 移动 狭缝 灵活 申请 | ||
【主权项】:
1.一种光阑装置,其特征在于,包括:/n基板,所述基板设有贯通正面及背面的狭缝;/n第一滑台,设置于所述基板正面的一侧,所述第一滑台内侧边缘固定有至少一个第一光阑刀片,/n第二滑台,与所述第一滑台相对的设置于所述基板正面的另一侧,所述第二滑台内侧边缘固定有至少一个第二光阑刀片;/n横向导轨副,所述横向导轨副包括沿水平横向固定于所述基板正面的横向导轨,所述第一滑台及第二滑台可沿所述横向导轨移动;/n第一横向驱动机构及第二横向驱动机构,所述第一横向驱动机构及第二横向驱动机构均固定设置于所述基板上,用于分别驱动所述第一滑台及第二滑台沿水平方向移动;/n所述第一横向驱动机构包括第一压电陶瓷电机,所述第二横向驱动机构包括第二压电陶瓷电机。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于散裂中子源科学中心;中国科学院高能物理研究所,未经散裂中子源科学中心;中国科学院高能物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910996199.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。