[发明专利]一种镧掺杂的二氧化铪铁电薄膜的制备方法及应用

摘要

本发明提供了一种镧掺杂的二氧化铪铁电薄膜的制备方法及应用。首先以无机铪盐、无机镧盐为原料配制得到澄清透明的镧掺杂氧化铪前驱体溶液；然后根据实验要求将前驱体涂覆在处理后的硅基片上；最后经干燥、预热、退火处理得到不同晶相结构的La‑HfO

主权项

1.一种镧掺杂的二氧化铪铁电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/n（1）前驱体溶液的制备：将无机铪盐加入去离子水中搅拌至全部溶解后，向其滴加碱性溶液至pH为8~9，此时溶液生成白色沉淀，使用离心机分离、清洗沉淀，再向分离出的沉淀中滴加酸性溶液至pH为0.6~0.8，持续搅拌6~8天后，加入镧盐搅拌均匀，即可得到澄清透明的镧掺杂二氧化铪前驱体溶液；/n（2）基片清洗：基片分别使用丙酮超声4~6 min、无水乙醇超声4~6 min、体积比为3﹕1的双氧水-硫酸混合液在65~75℃下加热25~30 min、蒸馏水超声4~6 min、氢氟酸超声4~6min、双氧水超声15~25 min，然后用大量蒸馏水冲洗、浸泡和干燥，再将干燥的基片进行表面预处理，以增加基片表面与前驱体溶液的润湿性；/n（3）涂覆和干燥处理：将步骤（1）所得到的前驱体溶液涂覆在步骤（2）中清洗的基片上，每涂一层都需将基片置于140~160℃的烤胶机上烘烤1~3 min，再将加热干燥后的基片进行表面预处理，以增加薄膜的浸润性，重复上述步骤，直到制备出所需要的薄膜厚度；/n（4）薄膜预热处理：将步骤（3）得到的薄膜置于充满保护气体的退火炉中进行预热处理，然后进行退火，随炉冷至室温，得到晶态的镧掺杂二氧化铪铁电薄膜。/n