[发明专利]大型磁控溅射镀膜机的真空室结构在审
| 申请号： | 201910997250.X | 申请日： | 2019-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN110629181A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 刘国利;周毅;李国强 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。本发明的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求，抗压均匀，稳定性好、使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室体 移动门架 法兰 磁控溅射镀膜机 真空室结构 两端开口 道轨 脚轮 高真空密封 圆筒状结构 边缘焊接 电机驱动 固定支座 横向放置 平行移动 大开度 密封面 外端面 抗压 焊接 | ||
【主权项】：
1.大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，其特征在于：所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。/n
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