[发明专利]镀膜夹具及其应用有效
| 申请号： | 201910997625.2 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110699671B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 宗坚;单伟;兰竹瑶 | 申请（专利权）人： | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/04;C23C16/50;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜夹具及其应用，其中所述镀膜夹具包括一夹具主体和至少一遮蔽件，其中所述遮蔽件被设置于所述主体，其中所述夹具主体具有至少一安装腔以用于安装至少一基材，其中所述遮蔽件与该基材表面的至少一电子元件的位置相对应，在安装后，所述遮蔽件相对应地对该基材表面的该电子元件进行遮蔽，以满足该基材被镀膜时其表面的该电子元件的遮蔽需求。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 夹具 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一镀膜夹具，其特征在于，包括：/n一夹具主体；和/n至少一遮蔽件，其中所述遮蔽件被设置于所述夹具主体，其中所述夹具主体具有至少一安装腔以用于安装至少一基材，其中所述遮蔽件与该基材表面的至少一电子元件的位置相对应，在安装后，所述遮蔽件相对应地对该基材表面的该电子元件进行遮蔽，以满足该基材被镀膜时其表面的该电子元件的遮蔽需求。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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