[发明专利]一种静电力反馈挠性摆式加速度计在审
| 申请号： | 201910997709.6 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN110702944A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 张习文;李鹏飞;白晓荣;梁璞;魏渊;雷宏杰;朱普辉;吴斌 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093 |
| 代理公司： | 11008 中国航空专利中心 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 710076 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种静电力反馈挠性摆式加速度计，包括表芯，表芯包括硅摆片(10)、光学位移传感器、静电力反馈力矩器和底座(9)，硅摆片(10)包括定片(1)、动片(4)和挠性支承梁(2)，静电力反馈力矩器包括静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)和两者之间的动片(4)，光学位移传感器中的可动光窗(5)固定在动片(4)上，检测动片位移，静电力反馈上极板(3)、定片(1)和静电力反馈下极板(8)叠装固定在底座(9)上，动片(4)与静电力反馈上极板(3)及静电力反馈下极板(8)的间隙中设有限位凸台(11)。本发明通过结合光学位移检测、静电力反馈和整体摆，应用于加速度计测量，可实现精度为μg0/ppm级的加速度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 静电力反馈 动片 上极板 下极板 光学位移传感器 力矩器 摆片 表芯 定片 底座 挠性摆式加速度计 光学位移检测 加速度测量 电力反馈 加速度计 挠性支承 叠装 光窗 可动 凸台 测量 检测 应用 | ||
【主权项】：
1.一种静电力反馈挠性摆式加速度计，包括表芯，其中所述表芯包括硅摆片(10)、光学位移传感器、静电力反馈力矩器和底座(9)，所述硅摆片(10)包括定片(1)、动片(4)和连接这两部分的挠性支承梁(2)，所述光学位移传感器包括光源(6)、光电接收器(7)及可动光窗(5)，所述静电力反馈力矩器包括静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)和介于两者之间间隙中的动片(4)，可动光窗(5)固定在动片(4)上，并介于光源(6)和光电接收器(7)之间，用于检测动片(4)的位移，静电力反馈上极板(3)、定片(1)和静电力反馈下极板(8)三者叠装在一起，并固定在底座(9)上，所述动片(4)的上下表面、静电力反馈上极板(3)的下表面和静电力反馈下极板(8)的上表面有金属镀层(12)，且动片(4)分别和静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)形成的间隙中设有限位凸台(11)。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，未经中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910997709.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有改进的皮托管连接结构的流速测量装置
- 下一篇：一种滑坡类型监测装置
