[发明专利]线栅偏振器、包括其的显示装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201911000128.7 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN110703380B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 吕伦钟;孙正河;李周炯;赵亨彬 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;冯志云 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种线栅偏振器及其制造方法。线栅偏振器包括基板和在基板上的多个导电线图案，该多个导电线图案配置为彼此平行地形成。其中每个导电线图案包括第一导电线图案、绝缘层和第二导电线图案，第一导电线图案和第二导电线图案彼此电绝缘并具有不同的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 包括 显示装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造线栅偏振器的方法，所述方法包括：/n执行在基板上形成第一导电线图案层、绝缘层、第二导电线图案层、硬掩模层和掩模层的第一工艺；/n执行图案化所述掩模层以在所述掩模层上形成多个高度的第二工艺；/n执行从所述掩模层在第二工艺期间被完全去除的区域去除所述硬掩模层和去除在别处保留的所述掩模层的一部分的第三工艺；/n执行从所述硬掩模层在所述第三工艺期间被去除的区域去除所述第二导电线图案层的第四工艺；/n执行从所述第二导电线图案层在所述第四工艺期间被去除的区域去除所述绝缘层和从保留的掩模层的所述一部分在所述第三工艺期间被去除的区域去除所述硬掩模层的第五工艺；和/n执行从所述绝缘层在所述第五工艺期间被去除的区域去除第一导电线图案层和从所述硬掩模层在所述第五工艺期间被去除的区域去除第二导电线图案层的第六工艺。/n
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