[发明专利]一种ITO缺陷检测方法及系统有效
| 申请号： | 201911000741.9 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110988660B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 雷华森;郑海明;李锋 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/309 | 分类号： | G01R31/309;G01N21/956 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 李健威 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ITO缺陷检测方法，步骤如下：S1：对ITO电路通电，使之发热；S2：对发热的ITO电路进行热成像，得到热成像图片；S3：对所述热成像图片进行处理，得到ITO电路图片；S4：依据所述ITO电路图片，检测所述ITO电路的缺陷。该ITO缺陷检测方法基于热成像对ITO缺陷进行检测，具有较高的检测精度。本发明还公开了一种ITO缺陷检测系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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