[发明专利]现场光谱过程监控在审
| 申请号： | 201911000964.5 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN110702619A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 本杰明·F·卡钦斯;马克·K·范贡藤;柯蒂斯·R·胡斯卡;保拉·史密斯;保罗·G·库姆斯 | 申请（专利权）人： | 唯亚威通讯技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/01 |
| 代理公司： | 11262 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张瑞;杨明钊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请公开了现场光谱过程监控。如果在制造过程中传感器采用与流动材料一起漂浮的移动探头的形式，而不是仅当过程移动经过传感器固定位置时采样，那么增强过程监控的精确度可被改进。探头包括与流动材料密封隔离的外壳以及用于通过外壳中的窗口将光传送到流动材料上的光源。空间可变光学滤波器(SVF)捕获从流动材料返回的光，并且将捕获的光分为成分波长信号的光谱，以用于传送至探测器阵列，这提供了对于每个成分波长信号的功率读数。 | ||
| 搜索关键词： | 流动材料 成分波长 过程监控 光谱 捕获 传感器固定位置 光学滤波器 探测器阵列 功率读数 空间可变 密封隔离 移动探头 制造过程 传感器 采样 探头 光源 漂浮 传送 返回 移动 申请 改进 | ||
【主权项】：
1.一种探头，包括：/n外壳；/n光源，其用于将光传输到材料上；/n导管，其从所述外壳中的开口延伸到所述外壳中的出口；以及/n光学滤波器，其用于捕获从所述材料折射或反射的光，/n所述导管使所述材料能够在所述光源和所述光学滤波器之间经过。/n
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