[发明专利]磁性隧道结结构及磁性随机存储器在审
申请号: | 201911001005.5 | 申请日: | 2019-10-21 |
公开(公告)号: | CN110676288A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 郭一民;张云森 | 申请(专利权)人: | 上海磁宇信息科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/22 | 分类号: | H01L27/22;H01L43/08 |
代理公司: | 31287 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 于晓菁 |
地址: | 201815 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请提供一种磁性隧道结结构及磁性随机存储器,所述磁性隧道结结构包括自由层、在自由层之上设置隔断层和具有垂直各向异性的高自旋激化率自旋激化层,将自旋电子聚集于自由层周围,增加翻转自由层磁化矢量的自旋转移力矩。由于自旋激化层的引入,使得磁性隧道结在写过程中的自旋转移力矩,得到了有效的提升,非常有利于MTJ器件临界电流(I | ||
搜索关键词: | 自由层 自旋 磁性隧道结结构 自旋转移力矩 磁性随机存储器 磁性隧道结 超低功耗 磁化矢量 临界电流 应用环境 自旋电子 隔断层 翻转 功耗 电路 垂直 引入 申请 | ||
【主权项】:
1.一种磁性隧道结结构,设置于磁性随机存储单元,所述磁性隧道结由上至下结构至少包括自由层、势垒层与参考层,其特征在于,所述自由层上方设置包括:/n隔断层,设置于所述自由层上,所述隔断层由下至上包括缓冲层与自旋扩散层,所述缓冲层由金属氧化层形成,所述自旋扩散层为高自旋扩散长度的金属构成;/n自旋激化层,设置于所述自旋扩散层上,由具有垂直各向异性的高自旋激化率的磁性材料形成;/n其中,所述缓冲层为所述自由层提供一个额外的垂直各向异性界面各向异性来源,及导引所述自旋扩散层的晶格形成,所述自旋扩散层导引所述自旋激化层所需的晶格生长,及所述自旋激化层的磁化矢量与所述参考层的磁化矢量方向为反平行。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的