[发明专利]一种CVD钻石辐照的水冷容器装置在审

专利信息
申请号: 201911001817.X 申请日: 2019-10-21
公开(公告)号: CN112760718A 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 蒋荣方;刘宏明;王骏;赵芬霞 申请(专利权)人: 湖州中芯半导体科技有限公司
主分类号: C30B33/04 分类号: C30B33/04;C30B29/04
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 任娜娜
地址: 313000 浙江省湖州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种CVD钻石辐照的水冷容器装置,包括横梁、水冷降温装置和水循环装置,所述横梁贯穿设于水冷降温装置侧面,所述水循环装置设于水冷降温装置两相对侧壁上,所述水冷降温装置包括水冷降温件、入水口、出水口、内部托架、内槽和外槽,所述水冷降温件为中空腔体设置,所述内部托架设于水冷降温件内,所述外槽设于水冷降温件和内部托架之间的空隙,所述内槽设于内部托架内部,所述入水口和出水口分别设于水冷降温装置的两相对侧面,所述水循环装置通过入水口设于水冷降温件侧壁。本发明属于珠宝优化技术领域,具体是指一种可以放置辐照改色过程中CVD钻石碳化的CVD钻石辐照的水冷容器装置。
搜索关键词: 一种 cvd 钻石 辐照 水冷 容器 装置
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